就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
對待每一
做到極致認(rèn)真
每一個(gè)零件
細(xì)
致
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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厭氧烘箱在PI亞胺化工藝的應(yīng)用
來源:
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作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部
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發(fā)布時(shí)間: 2022-10-20
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厭氧烘箱應(yīng)用背景
半導(dǎo)體功率整流器件在電子電力設(shè)備中廣泛應(yīng)用，功率整流器件在電路中的電氣性能全部依靠其中的芯片來實(shí)現(xiàn)。芯片的穩(wěn)定性和可靠性主要取決于芯片的鈍化保護(hù)質(zhì)量。因此，提高芯片的鈍化保護(hù)質(zhì)量是提高芯片的穩(wěn)定性和可靠性的關(guān)鍵所在。用聚酰亞胺鈍化保護(hù)整流芯片生產(chǎn)的產(chǎn)品工藝成本降低了 10%，每年廢水排水量減少了 60% 。
厭氧烘箱應(yīng)用工藝固化
將聚酰亞胺酸均勻涂敷在硅片的P+面，通過烘烤使涂敷在P+面的聚酰亞胺酸形成聚酰亞胺層，保護(hù)PN結(jié)，控制烘烤溫度。亞胺化反應(yīng)一般在300~400℃條件下進(jìn)行，反應(yīng)產(chǎn)物之一的水被脫除，從而提高了酰亞胺化的反應(yīng)速率，伴隨這一脫水過程，反應(yīng)體系中的有機(jī)溶劑、未反應(yīng)單體以及其他低沸點(diǎn)有機(jī)反應(yīng)組分，如中間產(chǎn)物和雜質(zhì)等，也會一同被蒸發(fā)脫除。
厭氧烘箱技術(shù)性能
溫度范圍： RT ～450℃；
氧含量：20ppm
規(guī)格尺寸：自定義
壓力：負(fù)壓/常壓，可選
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