就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產(chǎn)品，
做到極致認真
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
-
潔凈烘箱，百級無塵烘箱
-
氮氣烘箱，精密充氮烘箱
-
LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
-
熱風循環(huán)真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
-
HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
-
智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
-
真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
-
精密烤膠臺，高精度烘膠機
-
超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
產(chǎn) 品 中 心
products
HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵
真空干泵具有 靜音<50dBA)和低振動運行的，
密封設(shè)計(真空區(qū)與電機和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來的污染風險。
極限壓力：1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)
最大入口壓力：1.0 個大氣壓(0 psig)
冷卻 方式：風冷
泵凈重: 34 q (75 bs);含包裝: 45 kg(100bs)
尺寸 (高x寬x長(mm))：364x 333x 485
泄漏速度(密封排氣口時)：< 1 x 10° sccs (1 x 10 mbar.l/s)
HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵用途
HMDS烘箱的作用
HMDS烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到一 定溫度，在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。從而增強光刻與襯底表面的粘附性。
HMDS烘箱性能
溫度范圍：RT+10-250℃
真空度：≤1torr
控制儀表：彩色觸摸屏控制，操作更加簡單，方便
HMDS工藝：蒸汽氣相涂布
安全檢測：超溫保護，HMDS泄漏檢測提示
儲液瓶：HMDS儲液瓶
真空泵：無油渦旋真空泵
工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制
MUNE
>網(wǎng)站首頁 >公司簡介 >產(chǎn)品中心 >新聞動態(tài)
>幫助文檔 >在線留言 >聯(lián)系我們
CONTACT US
tel：18016234441
EMALL：junsish@163.com
