就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產品，
做到極致認真
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環(huán)真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
產 品 中 心
products
HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機
HMDS增粘劑烘箱即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布，涂膠工藝的配置機臺。該設備結合了有效的真空烘烤和蒸汽氣相涂布應用方法。在使用同一腔室過程的過程，為脫水和蒸汽灌注創(chuàng)造了一個加熱的真空環(huán)境，大大降低了晶片再水化或污染的風險。同時，提高了安全性，具有更好的安全保障。
HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機工藝步驟
工作腔室泵+N2清洗循環(huán)：涂膠過程從泵開始，并在初始烘烤數(shù)分鐘后清洗 預熱完成的真空腔室的循環(huán)，以到達使基板脫水的目的。 將腔室抽真空至低壓并重新充入純氮氣數(shù)次以去除水蒸氣。 同時可編程預熱脫水步驟提供了足夠的加熱時間來將晶片預熱到 工藝溫度；
循環(huán)吹掃完成后，將降低工作室壓力，打開裝有 HMDS 化學品的燒瓶的蒸汽閥， 當蒸氣閥打開時，腔室將化學蒸氣吸入，HMDS 蒸氣然后與晶片反應。數(shù)分鐘的汽化時間對晶圓進行底漆處理，汽化時間是可調的，可以根據(jù)需要增加，以確保對各種類型的表面進行底漆處理，關閉蒸汽閥并保持烘烤狀態(tài)；
工作腔室泵+N2排氣循環(huán)，烘烤時間結束后，N2注入腔體內，真空泵抽出氣體，數(shù)次循環(huán)后以到達使腔內殘余HMDS蒸汽排出的目的。
HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機技術性能
溫度范圍：RT+10-200℃
真空度：≤1torr
操作方式：人機界面，一鍵運行
儲液瓶：HMDS儲液量1000ml
真空泵：無油渦旋真空泵
工藝編輯：可儲存5個程序
氣體：N2進氣閥，自動控制
容積：40L/90L/210L,可定制
產品兼容性：2~12寸晶圓及碎片、方片等
適用行業(yè)：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導體材料。
