就
是
對(duì)
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
對(duì)待每一
做到極致認(rèn)真
每一個(gè)零件
細(xì)
致
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級(jí)無(wú)塵烘箱
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氮?dú)夂嫦洌艹涞嫦?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱（PI烤箱）真空無(wú)氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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OAP烘箱，OAP處理烘箱
發(fā)布時(shí)間: 2022-11-17 16:39
OAP烘箱，OAP處理烘箱的工藝
光刻的作用是把掩模版上的各形轉(zhuǎn)換成晶圓十的器件結(jié)構(gòu)，它對(duì)集成電路圖形結(jié)構(gòu)的形成，如各層薄膜的各形及摻雜區(qū)域等，均起著決定性的作用。光刻的基本流程中第一步，前處理就是需要將基片親水性改為疏水性，即OAP(HMDS預(yù)處理)工藝。
OAP烘箱，OAP處理烘箱簡(jiǎn)介
OAP處理烘箱，也稱為HMDS烘箱、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)。用HMDS溶液:六甲基二硅胺烷)成底膜進(jìn)行表面處理，它起到提高粘附力的作用，在硅片成底膜操作后盡快涂膠。OAP烘箱是采用氣相成底膜的方式來(lái)完成HMDS的涂覆工藝，優(yōu)點(diǎn)是，整個(gè)工藝在密閉的環(huán)境中，外界沒(méi)有與硅片接觸減少了來(lái)自液體HMDS顆粒沾污的可能，HMDS的消耗量也小。
OAP烘箱指標(biāo)
HMDS藥液泄漏報(bào)警提示功能
HMDS低液位報(bào)警提示功能
工藝數(shù)據(jù)記錄功能
HMDS管道預(yù)熱功能
程序鎖定保護(hù)等功能
內(nèi)腔尺寸：450×450×450（mm）（可定制）
材質(zhì)：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級(jí)不銹鋼
溫度范圍：RT+50-200℃
溫度波動(dòng)度：≤±0.5
真空度：≤1torr
HMDS控制：可控制HMDS 藥液添加量
真空泵：無(wú)油渦旋真空泵
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