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對(duì)

態(tài)

,


個(gè)產(chǎn)品,

對(duì)待每一

做到極致認(rèn)真

每一個(gè)零件
細(xì)

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級(jí)無(wú)塵烘箱
  • 氮?dú)夂嫦洌艹涞嫦?/div>
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精密熱板,高精度烤膠機(jī)
    發(fā)布時(shí)間: 2021-09-26 13:42    
精密熱板,高精度烤膠機(jī)簡(jiǎn)介:
     精密熱板用于固化光刻膠,固化環(huán)氧塑脂,可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場(chǎng)合等。在電子、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位,進(jìn)行熱老化、溫度試驗(yàn)及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗(yàn)中常見(jiàn)。主要應(yīng)用于科研實(shí)驗(yàn),用于最大直徑φ150mm晶圓或¨150mm方片的烘烤工藝,手動(dòng)上下料、自動(dòng)烘烤作業(yè)。
精密熱板,高精度烤膠機(jī)技術(shù)參數(shù):
溫度加熱范圍: 50℃-200℃;
表面溫度均勻性:
      50 ~ 120℃  R≤±0.5℃
      121 ~ 150℃  R≤±0.75℃
      151 ~ 200℃  R≤±1.0℃;
適用基片尺寸: 4、6寸晶圓及小于150mm方片 ;
溫度控制器:P.I.D溫度控制,高亮度4位數(shù)字LED顯示溫度
控溫精度: 0.1℃;
配置定時(shí)器,可編程定時(shí)控制 
配置真空端口,可使基片和熱板緊密接觸 ;
惰性氣體:可充氮?dú)饪刂?/span>
電源:220V,50/60Hz;;
外形尺寸:350×350×530mm。
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