就
是
對(duì)
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
做到極致認(rèn)真
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級(jí)無(wú)塵烘箱
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氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱（PI烤箱）真空無(wú)氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
產(chǎn) 品 中 心
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智能型HMDS烘箱，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，增加了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
智能型HMDS烘箱，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)用途:
HMDS 預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS 處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
智能型HMDS烘箱，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)性能參數(shù):
1、設(shè)備名稱(chēng)：智能型HMDS烘箱
2、設(shè)備型號(hào)：JS-HMDS90-AI
3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
3.1 工作室尺寸：450×450×450，550×650×550（mm），可自定義
3.2 材質(zhì)：外箱材質(zhì)采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用316L 醫(yī)用級(jí)不銹鋼
3.3 溫度范圍：RT+10-250℃
3.4 溫度分辨率：0.1℃
3.5 溫度波動(dòng)度：＜±1℃
3.6 真空度：≤133pa（1torr）
3.7 潔凈度：class 100，設(shè)備采用無(wú)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
3.8 電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ 總功率約3.0KW
3.9 控制儀表：人機(jī)界面
3.10 擱板層數(shù)：2 層
3.11 HMDS 流量控制方式：通過(guò)設(shè)置充液時(shí)間控制HMDS 流量
3.11 真空泵：旋片油泵/進(jìn)口干泵（全新）
3.12 保護(hù)裝置：漏電保護(hù)，超溫保護(hù)，HMDS 低液位報(bào)警等
智能型HMDS烘箱，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)特點(diǎn):
1、預(yù)處理性能更好
2、處理更加均勻
3、效率高
4、更加節(jié)省藥液
5、更加環(huán)保和安全
6、低液報(bào)警系統(tǒng)
7、自動(dòng)吸取HMDS功能
8、HMDS氣體管路加熱系統(tǒng)
9、可自動(dòng)添加HMDS功能
10、參數(shù)記錄功能
11、溫度程序鎖定功能
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