就
是
對(duì)
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
做到極致認(rèn)真
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
-
潔凈烘箱，百級(jí)無塵烘箱
-
氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
產(chǎn) 品 中 心
products
RTP快速退火爐，快速熱處理設(shè)備（RTP）簡(jiǎn)介
快速熱處理設(shè)備（RTP）可用于砷化鎵、硅以及其他半導(dǎo)體材料，離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。RTP快速退火爐，快速熱處理設(shè)備（RTP）具有快速升降溫、慢速升降溫、和長(zhǎng)工作時(shí)間穩(wěn)定等特點(diǎn)。也可用于各種半導(dǎo)體材料的CVD工藝的熱處理。
RTP快速退火爐，快速熱處理設(shè)備（RTP）主要技術(shù)指標(biāo)
l、外形尺寸：550×650×650mm（長(zhǎng)×寬×高）
2、爐內(nèi)體尺寸：327×249×123mm（長(zhǎng)×寬×高）
3、工作室采用進(jìn)口GE石英，外徑尺寸：290×230×24mm（長(zhǎng)×寬×高）；表面進(jìn)行磨砂處理
4、不銹鋼反應(yīng)室上下反射面聚焦設(shè)計(jì)，內(nèi)表面采用鍍金處理，減小熱損失，極大提高了反射效率
5、水冷卻，確保燈箱散熱與快速降溫
6、風(fēng)扇冷卻保證加熱燈的冷卻
7、最大溫度范圍150℃—1000℃，K型熱電偶
8、升溫速率：0.01—100℃/s可預(yù)設(shè)定
9、氣體：兩路美國(guó)進(jìn)口浮子流量計(jì)控制，流量：0—5L/min
10、采用歐陸2604高精度溫控儀控制溫度
11、快速熱處理設(shè)備（RTP）可編程多條溫度曲線
l2、雙閉環(huán)控制溫度，穩(wěn)態(tài)溫度穩(wěn)定性±1℃
l3、光源：1200W×21只鹵鎢燈
l4、電源：AC380V；63A三相
l5、有效加熱區(qū)：180×180mm
l6、石英承片架Ф160mm；配6英寸硅片承片板
MUNE
>網(wǎng)站首頁(yè) >公司簡(jiǎn)介 >產(chǎn)品中心 >新聞動(dòng)態(tài)
>幫助文檔 >在線留言 >聯(lián)系我們
上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司 ? 版權(quán)所有 滬ICP備16022591號(hào)-3
Copyright ? 2012-2018 junsicn.com All Rights Reserved.
技術(shù)支持：上海雋思儀器
CONTACT US
tel：18016234441
EMALL：junsish@163.com
