就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產(chǎn)品，
做到極致認真
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
產(chǎn) 品 中 心
products
無氧烘箱，光刻膠固化烘箱應(yīng)用工藝
無氧烤箱應(yīng)用于精密電子元件、PI膠固化烘烤、BCB固化，光刻膠固化、LCP液晶聚合物熱處理、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線性升降溫環(huán)境，特別適合集成電路/半導(dǎo)體制造、COB封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研等場所。
無氧烘箱，光刻膠固化烘箱特點
精度高，可調(diào)整；
溫度穩(wěn)定性強，可重復(fù)性高；
大容量，可批量生產(chǎn)；
兼容性好，適用于2--12寸晶圓；
智能化，操作方便，一鍵運行，無需人工值守；
快速降溫，具有輔助降溫裝置，提高生產(chǎn)效率；
無氧烘箱性能：
溫度范圍：RT+50～450℃；
內(nèi)箱尺寸：多尺寸定制；
材質(zhì)：SUS304/316不銹鋼；
氧含量：≤ 20ppm;
數(shù)據(jù)輸出：溫度記錄/氧濃度記錄
保護功能：短路保護、漏電保護、超溫保護、電機過電流保護、電磁門禁保護
可選功能：
潔凈度：class100
真空度：10pa
自動上下料：機械手
工業(yè)自動化：MES/GEM
無氧烘箱使用環(huán)境
環(huán)境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；
周圍無強烈震動；
無陽光直接照射或其它熱源直接輻射，
周圍無強烈電磁場影響；
周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì)；
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