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深圳先進(jìn)院在高靈敏度能量分辨型X射線探測器研究方面獲進(jìn)展
來源:https://doi.org/10.1016/j.jpowsour.2022.231520 | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2022-05-12 | 1198 次瀏覽 | 分享到:

近日,中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院先進(jìn)材料科學(xué)與工程研究所研究員楊春雷團(tuán)隊(duì)以A novel energy-resolved radiation detector based on the optimized CIGS photoelectric absorption layer為題,在Journal of Power Sources上發(fā)表了基于銅銦鎵硒(CIGS)薄膜光電器件與GOS閃爍體相結(jié)合的間接型X射線探測器研究進(jìn)展,該探測器具有高靈敏度和能量分辨能力,器件中使用的CIGS薄膜光電材料具有低成本、高效率及可大面積制作等優(yōu)勢(shì)。

瞄準(zhǔn)如何提高輻射探測器的探測率以及如何獲得能量分辨這兩個(gè)核心難題,研究人員從材料和器件結(jié)構(gòu)兩個(gè)方面進(jìn)行了創(chuàng)新設(shè)計(jì)。降低CIGS光電器件的暗電流從而提高信噪比,是CIGS應(yīng)用于探測器領(lǐng)域的核心挑戰(zhàn)。該團(tuán)隊(duì)系統(tǒng)研究了Ga含量對(duì)CIGS薄膜探測器的暗電流調(diào)控并獲得了最優(yōu)的組分設(shè)計(jì),進(jìn)一步結(jié)合表面態(tài)硫化處理和引入超薄Al?O?層作為pn結(jié)界面電荷阻擋層,成功將器件的探測率從6×1013Jones升高至2.3×101?Jones,這是目前CIGS光電器件的最好水平。基于優(yōu)化的CIGS光電功能層與GOS閃爍體層制備的X射線探測器,探測靈敏度達(dá)到8 μCGyair?1cm?2,響應(yīng)時(shí)間為0.23-0.28 ms。


圖片

圖1 a 3D結(jié)構(gòu)間接型X射線探測器的示意圖;b CIGS光電功能層的器件結(jié)構(gòu);c 光電器件的照片。


為了獲得對(duì)于X射線的能量分辨能力,該研究提出了新的3D結(jié)構(gòu)X射線探測器的幾何構(gòu)型,新結(jié)構(gòu)一方面可以利用X射線在穿透深度上的空間分辨獲得能量分布信息,另一方面可以使閃爍體的可見光熒光信號(hào)傳播方向與X射線傳播方向垂直,成功解決了間接型X射線探測器在高靈敏度和高空間分辨率不可兼得的難題。


圖片

圖2 a 研究中使用的CIGS薄膜的Ga/(Ga+In)元素比;b Ga含量0.33的樣品中各元素的空間分布;c CIGS吸收層的截面電子顯微鏡照片;d CIGS的晶體結(jié)構(gòu)示意圖;e CIGS薄膜的晶體X射線衍射圖譜;f CIGS薄膜的拉曼光譜;g CIGS光電器件的暗電流與Ga組分關(guān)系;h 表面鈍化處理后的CIGS器件的電流電壓曲線。


圖片

圖3 在不同深度上的X射線探測器像素對(duì)X射線能量的敏感度對(duì)比測量,像素的標(biāo)號(hào)越大,其深度越深。




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