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對(duì)

態(tài)

,


個(gè)產(chǎn)品,

對(duì)待每一

做到極致認(rèn)真

每一個(gè)零件
細(xì)

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級(jí)無塵烘箱
  • 氮?dú)夂嫦洌艹涞嫦?/div>
  • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>
  • 熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱,高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
  • HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
  • 智能型無塵無氧烘箱(PI烤箱)
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高精度烤膠機(jī)有哪些擴(kuò)展功能
來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2015-04-20 | 881 次瀏覽 | 分享到:

高精度烤膠機(jī)的基本功能

加熱面積尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm,多尺寸定制  

控溫范圍:室溫--200/300/400/500/600℃

溫度分辨率 :0.1℃     

溫度波動(dòng)度:≤±0.5℃         

溫度均勻性:≤±0.5/1℃ 

電源輸入:AC220V             

熱板表面: 由硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成

高精度烤膠機(jī)的擴(kuò)展功能

支撐pin材料

邊緣支撐pin

N2吹掃,無氧化烘烤

烘焙距離可調(diào)模組

真空腔體

智能型控制系統(tǒng)

高精度烤膠機(jī)的用途

        用于晶圓的單面烘烤,可用于預(yù)烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅(jiān)膜)工藝。適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。

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