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芯片真空儲存柜,半導體真空氮氣柜
來源: | 作者:雋思半導體設備部 | 發(fā)布時間: 2022-03-09 | 1539 次瀏覽 | 分享到:

芯片真空儲存柜,半導體真空氮氣柜
    真空存儲柜適用于各類化工原料、貴重金屬、金屬粉末等各種固體、粉狀、糊狀、液體,電子產(chǎn)品(半導體、電路板、電子成品、芯片、電池板、電池片、電子元器件、高級金屬制品、厭氧產(chǎn)品、易氧化產(chǎn)品等)及機金屬加工件與各類不便于冷藏的食品,還有書籍、衣物等厭氧物品的真空存貯,以防潮、防氧化變色。適用于工廠、高等院校、科研等場所。
芯片真空儲存柜,半導體真空氮氣柜
1、設備名稱:
名稱: 真空存儲柜
2、設備型號:
型號: JS-ZF 
3、設備主要技術(shù)參數(shù): 
3.1 尺寸 內(nèi)尺寸:400mm×400mm×300mm(寬×深×高),單箱
外形尺寸:1250mm×770mm×1650mm(寬×深×高) 
3.2 箱數(shù) 四箱體,四開門,獨立控制
3.3 材質(zhì) 內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼,內(nèi)表面鏡面拋光,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑
3.4 溫度 無需溫度監(jiān)控及控制
3.5 真空度 ≤10pa,數(shù)字顯示(單箱指標)
3.6 抽速 從1atm-10Pa時間≤3min(單箱指標)
3.7 漏率 系統(tǒng)的真空漏率<10-7 Pa?L/s(單箱指標)
3.8 電源及功率 AC 220V±10% / 50HZ 總功率約0.8KW 
3.9 操做界面 彩色觸摸屏界面,集成式控制,位于箱體上方
3.10分層數(shù) 二層(單箱指標)
3.11真空泵 渦旋干泵
3.12 腔門密封圈 采用耐高溫硅橡膠密封圈,密封圈采用一體成型無縫加工
3.13 氮氣控制 可調(diào)式轉(zhuǎn)子氮氣流量計

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