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智能型無塵無氧烘箱(厭氧潔凈烘箱)功能解析
來源: | 作者:雋思半導體設備部 | 發(fā)布時間: 2012-01-05 | 1207 次瀏覽 | 分享到:
智能型無塵無氧烘箱(厭氧潔凈烘箱)適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB 板、ITO 玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).用于企業(yè)生產(chǎn)、科研或高校實驗室等工藝。

智能型無塵無氧烘箱(厭氧潔凈烘箱)主要應用范圍:

   應用于精密電子元件、PI、BCB 膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB 板、ITO 玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).用于企業(yè)生產(chǎn)、科研或高校實驗室等工藝。

智能型無塵無氧烘箱(厭氧潔凈烘箱)的性能:

設備型號:JS-雋思自定義

設備內尺寸(mm):350*350*350,500*500*500,600*600*800,多尺寸定制

樣品尺寸(mm):定制提供

箱體結構:立式,單/雙開門

內腔材質(mm):加厚耐高溫304不銹鋼

保溫結構:六面保溫

保溫材質:高密度陶瓷纖維

系統(tǒng)控制:觸摸屏(PLC),可定制、程式運行

循環(huán)熱風:加熱器置于箱內,溫控探頭置于出風口處

調溫片功能:增加調溫片設計,調節(jié)溫度均勻性

安全鎖:加裝箱門互鎖裝置(避免人員隨意開門),烘烤作業(yè)起動時,箱門不能打開。

內腔測溫:內腔出風口加多點溫度監(jiān)測,溫控曲線可儲存和提取

搬運滾輪:烤箱左右兩側各加裝2對滾輪,便于設備定位時搬移

內循環(huán)風過濾:入風口裝有耐高溫高效過濾器

智能型無塵無氧烘箱(厭氧潔凈烘箱)的主要指標:

監(jiān)測腔內氧氣含量:通入氮氣降低氧氣含量使其低于20ppm

控溫精度(℃):0.5

溫度均勻度:依據(jù)測試方法確定

溫度范圍(℃):常溫+50~200/300/400/500可調

升溫速率(℃):線性升溫1-12℃/min可調,可定制15/min

降溫速率:輔助降溫平均約5/min,可定制線性降溫

降溫方式:水冷(可選擇自然降溫)

潔凈度:class1000/class100

電源:AC220/380,50/60Hz

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