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工
作
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態(tài)
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環(huán)真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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芯片制造的關鍵工藝
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發(fā)布時間: 2020-06-01
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芯片制造的關鍵工藝
沉積：制造芯片的第一步，通常是將材料薄膜沉積到晶圓上以及HMDS沉積（HMDS沉積烘箱）。材料可以是導體、絕緣體或半導體。光刻膠涂覆：進行光刻前，首先要在晶圓上涂覆光敏材料“光刻膠”或“光阻”，然后將晶圓放入光刻機。
曝光：在掩模版上制作需要印刷的圖案藍圖。晶圓放入光刻機后，光束會通過掩模版投射到晶圓上。光刻機內的光學元件將圖案縮小并聚焦到光刻膠涂層上。在光束的照射下，光刻膠發(fā)生化學反應，光罩上的圖案由此印刻到光刻膠涂層。
計算光刻：光刻期間產生的物理、化學效應可能造成圖案形變，因此需要事先對掩模版上的圖案進行調整，確保最終光刻圖案的準確。ASML將現有光刻數據及圓晶測試數據整合，制作算法模型，精確調整圖案。
烘烤與顯影：晶圓離開光刻機后，要進行烘烤（無塵烘箱）及顯影，使光刻的圖案永久固定。洗去多余光刻膠，部分涂層留出空白部分。
刻蝕：顯影完成后，使用氣體等材料去除多余的空白部分，形成3D電路圖案。
計量和檢驗：芯片生產過程中，始終對晶圓進行計量和檢驗，確保沒有誤差。檢測結果反饋至光刻系統(tǒng)，進一步優(yōu)化、調整設備。
離子注入：在去除剩余的光刻膠之前，可以用正離子或負離子轟擊晶圓，對部分圖案的半導體特性進行調整。
視需要重復制程步驟：從薄膜沉積到去除光刻膠，整個流程為晶圓片覆蓋上一層圖案。而要在晶圓片上形成集成電路，完成芯片制作，這一流程需要不斷重復，可多達100次。
封裝芯片：最后一步，切割晶圓，獲得單個芯片，封裝烘烤（充氮烘箱）、封裝在保護殼中。這樣，成品芯片就可以用來生產電視、平板電腦或者其他數字設備了！
