就
是
對(duì)
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個(gè)產(chǎn)品，
對(duì)待每一
做到極致認(rèn)真
每一個(gè)零件
細(xì)
致
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
-
潔凈烘箱，百級(jí)無塵烘箱
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氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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HMDS烘箱在第三代半導(dǎo)體材料中的工藝
來源:
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作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部
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發(fā)布時(shí)間: 2023-10-07
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HMDS烘箱在第三代半導(dǎo)體材料中的工藝
第三代半導(dǎo)體是以碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）、氧化鋅（ZnO）、金剛石、氮化鋁（AlN）為代表的寬禁帶（禁帶寬度Eg>2.3eV）的半導(dǎo)體材料。其中又以SiC和GaN為最核心的材料。然而這些新材料襯底在光刻模塊中的標(biāo)準(zhǔn)步驟是：脫水烘烤、HMDS prime、抗蝕劑旋轉(zhuǎn)/噴涂、軟烘烤、對(duì)準(zhǔn)、曝光、曝光后烘烤、顯影硬烘烤和除渣。
HMDS prime - 在晶圓表面涂上附著力促進(jìn)劑。附著力促進(jìn)劑用于與晶圓表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并用有機(jī)官能團(tuán)取代 -OH 基團(tuán)，與羥基不同，該官能團(tuán)對(duì)光刻膠具有良好的附著力。硅烷通常用于此目的，最常見的是六甲基二硅烷 (HMDS)。
施加粘合促進(jìn)劑的優(yōu)選方法是將基材置于 HMDS 蒸汽中，通常是在升高的溫度和降低的壓力下。這允許在沒有過多 HMDS 沉積的情況下對(duì)基材進(jìn)行良好的涂覆，并且更高的溫度會(huì)導(dǎo)致與硅烷醇基團(tuán)的反應(yīng)更完全。
文中所要求的HMDS蒸汽及升高溫度和降低壓力的制作工藝，可在HMDS烘箱中完成，無需獨(dú)立操作，一鍵作業(yè)。
HMDS烘箱技術(shù)規(guī)格：
內(nèi)腔尺寸：300×300×300、450×450×450（mm）（可定制）
材質(zhì)：內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級(jí)不銹鋼
溫度范圍：RT+30-200℃
真空度：≤1torr
電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ，總功率約2.8KW
控制儀表：人機(jī)界面，一鍵運(yùn)行
擱板層數(shù)：2 層
HMDS控制：可控制HMDS添加量
真空泵：無油渦旋真空泵
HMDS藥液泄漏報(bào)警提示功能
HMDS低液位報(bào)警提示功能
工藝數(shù)據(jù)記錄功能
藥液管道預(yù)熱功能
程序鎖定保護(hù)等功能
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