就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產(chǎn)品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數(shù)據(jù)
-
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
-
潔凈烘箱，百級無塵烘箱
-
氮氣烘箱，精密充氮烘箱
-
LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
-
熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
-
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
-
智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
-
真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱
-
精密烤膠臺，高精度烘膠機
-
超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
最新消息
熱搜：HMDS烘箱 無塵烤箱 無氧烤箱
新 聞 動 態(tài)
NEWS
高溫?zé)o氧烤箱在低介電常數(shù)BCB樹脂的固化工藝中的操作方法
來源:
|
作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部
|
發(fā)布時間: 2023-04-28
|
716 次瀏覽
|
分享到:
| 低介電常數(shù)BCB樹脂的固化方法，具體步驟如下: |
| 1:在半導(dǎo)體芯片表面涂覆一層粘附劑; |
| 2:通過旋轉(zhuǎn)方式在半導(dǎo)體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態(tài)BCB樹脂，接著將涂覆好BCB樹脂的半導(dǎo)體芯片放入高溫?zé)o氧烤箱中，并通入氮氣保護; |
| 3:加熱高溫?zé)o氧烤箱，使涂覆BCB樹脂的半導(dǎo)體芯片達到一第一溫度，穩(wěn)定一段時間，使BCB樹脂中的溶劑分布均勻; |
| 4:再將加熱無氧烤箱升高到一第二溫度，穩(wěn)定一段時間，使BCB樹脂中的溶劑充分揮發(fā); |
| 5:再將加熱無氧烤箱升高至一第三溫度，穩(wěn)定一段時間，在半導(dǎo)體芯片表面形成低介電常數(shù)的樹脂薄膜; |
| 6:高溫?zé)o氧烤箱降溫至100度以下； |
| 7：關(guān)氮氣，取出產(chǎn)，完成固化工藝。 |
MUNE
>網(wǎng)站首頁 >公司簡介 >產(chǎn)品中心 >新聞動態(tài)
>幫助文檔 >在線留言 >聯(lián)系我們
上海雋思實驗儀器有限公司 ? 版權(quán)所有 滬ICP備16022591號-3
Copyright ? 2012-2018 junsicn.com All Rights Reserved.
技術(shù)支持：上海雋思儀器
CONTACT US
tel：18016234441
EMALL：junsish@163.com
