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對(duì)

態(tài)

,


個(gè)產(chǎn)品,

對(duì)待每一

做到極致認(rèn)真

每一個(gè)零件
細(xì)

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級(jí)無(wú)塵烘箱
  • 氮?dú)夂嫦洌艹涞嫦?/div>
  • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>
  • 熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱,高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
  • HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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PI/BCB固化真空無(wú)氧烘箱的操作方法
來(lái)源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2022-09-15 | 946 次瀏覽 | 分享到:

PI/BCB固化真空無(wú)氧烘箱操作方法

開(kāi)機(jī)前注意檢查,循環(huán)水是否打開(kāi)(壓力足夠),氮?dú)忾y門(mén)是否打開(kāi)(壓力足夠)

1.打開(kāi)設(shè)備電源開(kāi)關(guān),人機(jī)界面啟動(dòng);

2.在人機(jī)界面參數(shù)設(shè)定中編輯需求工藝;

3.返回主界面,選擇工藝序號(hào);

4.選擇程式運(yùn)行,確認(rèn)運(yùn)行;

5.程序運(yùn)行結(jié)束,打開(kāi)箱門(mén),拿出產(chǎn)品

6.關(guān)閉箱門(mén)。

PI/BCB固化真空無(wú)氧烘箱適用工藝:

    PI固化厭氧烤箱用于用于PI/BCB/LCP固化,半導(dǎo)體封裝等,也用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影等。

PI/BCB固化真空無(wú)氧烘箱技術(shù)性能:

內(nèi)腔尺寸:350*350*350/自定義

溫度范圍:RT+30~450℃;  

溫度波動(dòng)度:±1℃;        

控精度:0.1℃;

氧濃度:10ppm

真空度:100pa

降溫方式:快速降溫

操作方式:人機(jī)界面,智能型一鍵運(yùn)行;

內(nèi)膽材料:采用 #304鏡面不銹鋼制作;

外殼材料:采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑;

置換氣體:氮?dú)猓?/span>

電源:380v/50Hz,5KW;

支撐裝置:腳杯和萬(wàn)向輪;

廠商品牌:雋思。


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