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復(fù)合氣凝膠傳感器可以用于手指彎折、呼吸、吞咽、咀嚼、說(shuō)話和肌力信號(hào)的可穿戴實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)（恒溫加熱臺(tái)））
來(lái)源:https://doi.org/10.1021/acsami.2c03350
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作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部
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發(fā)布時(shí)間: 2022-05-16
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近日，浙江大學(xué)生物醫(yī)學(xué)工程與儀器科學(xué)學(xué)院梁波研究員、葉學(xué)松教授團(tuán)隊(duì)利用銅離子輔助電凝膠化技術(shù)制備了具有可控圖案化特性的三維多孔Ti3C2Tx MXene/PEDOT:PSS復(fù)合氣凝膠（MPCA）。該項(xiàng)研究工作以“3D MXene/PEDOT:PSS Composite Aerogel with Controllable Patterning Property for Highly Sensitive Wearable Physical Monitoring and Robotic Tactile Sensing”為題發(fā)表在《ACS Applied Materials & Interfaces》上。浙江大學(xué)博士研究生張珊珊，屠婷婷為論文共同第一作者，梁波研究員和葉學(xué)松教授為通訊作者。
通過(guò)用該方法制備的復(fù)合氣凝膠傳感器可以用于手指彎折、呼吸、吞咽、咀嚼、說(shuō)話和肌力信號(hào)的可穿戴實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，以及機(jī)器人觸覺(jué)中的高分辨率傳感應(yīng)用，使機(jī)械手像人類手指一樣精確感知盲文（圖1）。
圖1 Ti3C2Tx MXene/PEDOT:PSS復(fù)合氣凝膠用于可穿戴式物理監(jiān)測(cè)和機(jī)器觸覺(jué)傳感
研究人員首先對(duì)MXene/PEDOT:PSS復(fù)合氣凝膠的制備原理進(jìn)行了探究。MXene與PEDOT:PSS之間的多重相互作用使MPCA具有穩(wěn)定的三維導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，從而提高了MPCA的機(jī)械柔韌性和壓阻性能。并且通過(guò)控制電凝膠的參數(shù)和時(shí)間，可以在不同圖案化的導(dǎo)電基底上實(shí)現(xiàn)復(fù)合水凝膠/氣凝膠的高精度、高分辨圖案化修飾（圖2）。
圖2 MXene/PEDOT:PSS復(fù)合氣凝膠的電凝膠化原理和可控修飾
基于MPCA良好的導(dǎo)電性和機(jī)械柔性，通過(guò)該方法所制備的壓阻型壓力傳感器實(shí)現(xiàn)了較高的靈敏度（0-2kPa范圍內(nèi)為26.65kPa?1）、快速響應(yīng)能力（106ms）和良好的循環(huán)穩(wěn)定性，可以用于手指彎折、呼吸、吞咽、咀嚼、說(shuō)話和肌力信號(hào)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)（圖3）。
圖3 基于復(fù)合氣凝膠的壓力傳感器對(duì)人體不同物理信號(hào)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
最后，利用電凝膠化制備方法的可控圖案化特性，在1cm x 1cm平面內(nèi)成功制備了6 x 6的高分辨率的壓力傳感器微陣列，以用于人工觸覺(jué)界面。該陣列可以覆蓋在機(jī)器人指尖上，直接識(shí)別來(lái)自人類手指的觸覺(jué)刺激，并且通過(guò)繪制壓力分布圖可以直觀的顯示出手指觸碰時(shí)力的大小和位置，還可以使機(jī)械手像人類手指一樣實(shí)現(xiàn)對(duì)盲文字母的精確識(shí)別（圖4）。
圖4 基于復(fù)合氣凝膠的傳感器陣列用于機(jī)器觸覺(jué)傳感
該項(xiàng)研究所提出的基于電凝膠法制備的MXene/PEDOT:PSS復(fù)合氣凝膠具有顯著的綜合性能，特別是高靈敏度的傳感性能和可控的圖案化性能，為導(dǎo)電水凝膠/氣凝膠材料在可穿戴電子領(lǐng)域的微型化應(yīng)用提供了新的方法。
恒溫加熱臺(tái)，高精度恒溫加熱臺(tái)概述：
用于晶圓的單面烘烤，可穿戴電路芯片測(cè)試，可用于預(yù)烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅(jiān)膜)工藝。適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
恒溫加熱臺(tái)，恒溫加熱臺(tái)技術(shù)性能：
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溫度均勻性：≤±0.5/1℃
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